Vakuumdannere kræver en fordampningskilde eller et fordampningsmål
Læg en besked
Vakuumdannere kræver en fordampningskilde eller et fordampningsmål
Forskellige belægningsteknikker kræver en fordampningskilde eller -mål for at omdanne den fordampede filmdannende art til en gas. Med stadigt stigende kilder eller mål udvides valget af filmmateriale betydeligt. Uanset om det er metal, legering, sammensat, keramisk eller organisk materiale, kan forskellige metalfilm og dielektriske film dampaflejres, og forskellige materialer kan dampdeponeres samtidigt for at opnå flerlagsfilm.
Vakuumformningsmaskine ubalanceret magnetronforstøvningsteknologi
Derfor kan magnetronbelægningsmaskinen aflades under lavere arbejdstryk og spænding, og måludnyttelsesgraden er relativt høj. Imidlertid er substratområdet mindre bombarderet af ioner, fordi elektronerne bevæger sig langs magnetfeltlinjerne og for det meste er begrænset til måloverfladen. Konceptet med ubalanceret magnetronforstøvningsteknologi betyder, at den magnetiske flux af den ydre magnetiske pol på magnetronkatoden er større end den for den indre magnetiske pol, det vil sige, at de magnetiske feltlinjer for de to magnetiske poler ikke vil være fuldstændigt lukkede på måloverfladen, og der er en vis andel af magnetfeltlinjerne. Det vil strække sig langs kanten af målet til substratområdet, således at en del af elektronerne kan strække sig til substratet langs magnetfeltlinjerne og derved øge plasmatætheden og gasioniseringshastigheden i substratområdet. Uanset den ubalancerede balance, hvis magneten er stationær, bestemmer dens magnetiske feltkarakteristika den generelle måludnyttelsesgrad på mindre end 30 procent. Et roterende magnetfelt kan bruges til at forbedre måludnyttelsen. Hvis det roterende magnetfelt kræver en roterende mekanisme, reduceres sputterhastigheden. Roterende magnetfelter bruges mest til store eller værdifulde mål. For eksempel sputtering af halvleder tynde film. Til småt udstyr og generelt industrielt udstyr er den statiske magnetfelt-målkilde meget udbredt.
www.superbheater.com
