Vakuumbelægning maskine lille udstyr multi-formål magnetisk felt statisk målkilde

Vakuumbelægning maskine lille udstyr multi-formål magnetisk felt statisk målkilde

Målkilden er opdelt i balancerede og ubalancerede typer. Den afbalancerede målkilde har en ensartet belægning, og den ubalancerede målkildebelægning har en stærk bindekraft med underlaget. Balancerede målkilder bruges mest til optiske halvlederfilm, og ubalancerede mål bruges mest til dekorative slidfilm.

Uanset balance eller ubalance, hvis magneten er stationær, bestemmer dens magnetfeltkarakteristika, at den generelle måludnyttelsesgrad er mindre end 30 procent. For at øge udnyttelsesgraden af ​​målmaterialet kan der anvendes et roterende magnetfelt. Men at rotere magnetfeltet kræver en roterende mekanisme, og samtidig reduceres sputterhastigheden. Roterende magnetfelter bruges mest til store eller dyre mål. Såsom halvlederfilmsputtering. Til småt udstyr og generelt industrielt udstyr bruges den statiske magnetfelt-målkilde ofte.

Almindelige punkter for magnetronforstøvning af vakuumbelægningsmaskine

Fælles pointe: Samspillet mellem magnetfeltet og elektronerne får elektronerne til at løbe i en spiralform nær måloverfladen og derved øge sandsynligheden for, at elektronerne rammer argongassen for at danne ioner. De genererede ioner rammer måloverfladen under påvirkning af et elektrisk felt for at sputtere målet ud. I de seneste årtiers udvikling er permanente magneter gradvist blevet vedtaget, og spolemagneter bruges sjældent.

Passivering af bundbelægning af vakuumbelægningsmaskine

Jo lettere passivering af belægningen, desto dårligere bindekraft har belægningen på den. Nikkel er et metal, der er let at passivere. Under nikkelbelægningsprocessen er power-off-parret lidt længere, og nikkelbelægningslaget vil gennemgå kemisk passivering i nikkelbelægningsopløsningen;

Hvis fænomenet med amfotere elektroder ikke effektivt kan undgås (se fjerde forelæsning for detaljer), vil der lokalt forekomme alvorlig elektrokemisk passivering på emnet som anodedel, og der bør udvises særlig opmærksomhed ved plettering af Duoxian nikkel. Krom er lettere at passivere end nikkel, så forkromning på chrom skal have god aktivering.

Der er også mange tilfælde af forkromning på krom, såsom: dekorativ forkromning bruges til sekundær forkromning, når den primære dybe belægningsevne er dårlig; for at tage hensyn til både korrosionsbestandighed og slidstyrke påføres hårdforkromning på mælkekrom (i princippet ingen revner); Molybdæn og molybdænlegering galvanisering kræver forkromning og så videre.

www.superbheater.com