Vakuumbelægningsmaskine Tekniske krav til fordampningsvakuum

Vakuumbelægningsmaskine Tekniske krav til fordampningsvakuum

1. Udstyrets struktur skal være rimelig i layout, smuk i udseende, nem at betjene og nem at vedligeholde.

2. Strukturen og størrelsen af ​​statiske og dynamiske tætninger i udstyret skal overholde bestemmelserne i GB/T 6070 og JB/T 1090-1092.

3. Vakuummålere bør installeres på lavvakuum- og højvakuumrørene og belægningskamrene for at måle trykket af hver del.

4. Hvis udstyrets vakuumenhed bruger en diffusionspumpe som hovedpumpe, skal der installeres en skærm eller kuldefælde ved diffusionspumpens luftindtag.

5. Der bør være et observationsvindue i belægningsrummet, og der bør installeres anti-strålelinser på observationsvinduet for udstyr, der genererer stråling under belægningsprocessen.

6. Udstyr med emnebageanordning skal have temperaturmåleelektroder eller temperaturmåleanordninger.

7. Rotationshastigheden for emneholderens rotationsmekanisme skal opfylde produktdesignkravene.

8. Udstyret udstyret med ionbombardementsanordning eller bredstrålende lavenergi-ionkildeanordning skal være i stand til at arbejde kontinuerligt og stabilt i mere end 30 minutter inden for de parametre, der er specificeret i produktdesignkravene.

9. Varmelegemet, der bruger wolframtråd som fordampningsvarmekilde, skal gøre det muligt for fordampningsmaterialet at fordampe normalt, og varmelegemets geometri bør ikke påvirke den normale fordampning under fordampningsprocessen.

10. Arbejdstilstanden for udstyrets fordampningskilde skal være stabil og let at justere og kontrollere. De tekniske krav til forskellige fordampningskilder (såsom modstandsfordampningskilder, elektronstrålefordampningskilder, ionstrålefordampningskilder, laserfordampningskilder, induktive fordampningskilder osv.) bør specificeres i overensstemmelse med de tilsvarende produktstandarder.

11. Når udstyret anvender en lavspændings-, højstrømsmodstandsfordampningskilde, bør hver fordampningskildevarmer fungere normalt ved en spænding på 4V til 20V og en strøm på 50A til 180A.

www.superbheater.com