Hjem - Viden - Detaljer

Sandsynligheden for at aflejre Al-film på substratet af vakuumcoater er lige stor

Sandsynligheden for at aflejre Al-film på substratet af vakuumcoater er lige stor

Elektronstrålefordampningen af ​​vakuumbelægningsmaskine anvendes, planetmekanismen roterer jævnt, når filmen afsættes, og sandsynligheden for hvert substrat ved afsætning af Al-film er ens; fokus for den planetariske mekanisme er ved digelens fordampningskilden, og aflejringshastigheden af ​​hvert substrat er under en vis grad af vakuum. næsten lige. Ved at bruge vakuumbelægningsmaskinens magnetronforstøvningsbelægningsmetode, da aflejringsstrømmen og målspændingen kan styres, det vil sige sputtereffekten kan justeres og kontrolleres, filmtykkelsens kontrollerbarhed og repeterbarhed er god, og den kan bruges på større overflader. En film med ensartet tykkelse blev opnået.

Tykkelsen af ​​Al-filmen på vakuumbelægningsmaskinen vil direkte påvirke andre egenskaber af Al-filmen

 

Det er meget vigtigt nøje at kontrollere tykkelsen af ​​Al-filmen, fordi tykkelsen af ​​Al-filmen vil direkte påvirke andre egenskaber af Al-filmen og derved påvirke pålideligheden af ​​halvlederanordningen. For højmodtryksstrømrøret er dets arbejdsspænding høj, og strømmen er stor. Uden en vis tykkelse af metalfilmen vil strømtætheden på Al-filmen pr. arealenhed være for høj, hvilket er let at brænde. For generelle halvlederenheder, hvis Al-laget er for tyndt, er kontinuiteten af ​​filmen dårlig, og den har en ø- eller maskestruktur, hvilket gør det vanskeligt at binde ledningerne, hvilket gør det vanskeligt at binde eller svagt binde, og dermed påvirke udbyttet; Al-laget Hvis det er for tykt, kan mønsteret ikke ses tydeligt under fotolitografi, hvilket gør korrosion vanskelig og er tilbøjelig til kantkorrosion og "forbindelses"-fænomen.

www.superbheater.comwwwsuperbheatercom

Send forespørgsel

Du kan også lide