Systemdesignkarakteristika for vakuumbelægningsmaskinesystemdesign

Systemdesignkarakteristika for vakuumbelægningsmaskinesystemdesign

1. Produktionslinjen vedtager PLC-helprocesstyring og er udstyret med en farveskærm til at vise parametrene for belægningsprocessen osv.;

2. Animation i realtid viser og overvåger procesflowet i magnetronbelægningens produktionslinje. Udstyret i magnetronbelægningsproduktionslinjen er forseglet, og glassets funktion i vakuumkammeret kan ikke ses under produktionen. Gennem animationsfunktionen af ​​billedet af det generelle konfigurationsovervågningssystem kan driften af ​​glasset i det forseglede vakuumkammer reflekteres i realtid, hvilket muliggør drift på stedet. Arbejderne kender hele produktionsprocessen godt.

3. Rige systemfunktioner: inklusive manuel/automatisk valg af tilstand, valg af procesplan, dataregistrering, fejlalarmregistrering, automatisk diagnose og beskyttelse, begrænset driftsautoritet osv. Systemsammensætning strukturdiagram Det øverste overvågningssystem vedtager det generelle konfigurationsovervågningssystem , og kommunikationstilstanden med Mitsubishi FX2N PLC i det nederste styresystem anvender RS-232 seriel kommunikationstilstand. LG frekvensomformeren, vakuumpumpen, luftudsugningsventilen osv. styres alle af Mitsubishi FX2N-PLC, og PLC'en er forbundet til computeren gennem et udvidet 232BD modul.

I 1964 introducerede Mattox ionpletteringssystemet baseret på tidligere forskningsarbejde. Ionsystemet på det tidspunkt arbejdede under et tryk på 10Pa og en udladningsspænding på 2KV og blev brugt til at belægge slidbestandige og dekorative belægninger på metaller og var ikke egnet til belægning af optiske film. Senere blev højfrekvent ionplettering brugt til at afsætte optiske film på isolerende materialer såsom glas. Siden 1970'erne er en række nye teknologier såsom ion-assisteret aflejring, reaktiv ionplettering og plasma kemisk damp blevet undersøgt og anvendt. De giver tilstrækkelig aktiveringsenergi på grund af brugen af ​​energiske ioner, hvilket øger reaktionshastigheden ved overfladen. Det forbedrer mobiliteten af ​​adatomer og undgår dannelsen af ​​søjleformede mikrostrukturer og forbedrer derved ydeevnen af ​​optiske tynde film i varierende grad, hvilket er forsknings- og udviklingsretningen for optisk tyndfilmsfremstillingsteknologi.

Faktisk er udviklingsprocessen for vakuumbelægning langt mere kompliceret. Lad os tage et kig på denne to hundrede år gamle teknologiske proces:

19. århundrede

Vakuumbelægning har en historie på 200 år. I det 19. århundrede kan man sige, at det altid har været i udforsknings- og forforskningsstadiet. Opdagelsesrejsendes strabadser blev fuldt ud afspejlet i denne periode.

www.superbheater.com