Struktur og egenskaber af TiCN-tynde film fremstillet ved vakuumsølvforstøvning
Læg en besked
Struktur og egenskaber af TiCN-tynde film fremstillet ved vakuumsølvforstøvning
TiCN tynde film blev fremstillet på M2 højhastighedsstålsubstrater ved co-sputtering af grafitmål og titaniummål under en blandet atmosfære af nitrogen og argon. Hårdheden af den tynde TiCN-film blev detekteret, og indrykningsmetoden og ridsemetoden blev brugt til at evaluere bindingstilstanden af den tynde film og substratet. Skæretesten af TiCN tyndfilmhanen blev udført for at undersøge holdbarheden af TiCN tyndfilmen. Resultaterne viser, at C-atomerne i TiCN-filmen eksisterer i form af fast opløsning i TiN-gitteret, orienteringen af TiCN-filmen på (111) krystalplanet er væsentligt svagere end TiN-filmens, og brud på TiCN-filmen er en lang blokstruktur, og dens laterale dimension er større end TiN-filmens. Filmen er lille, og overfladen af TiCN-filmen er ujævn. Bindekraften mellem TiCN-filmen og substratet er omkring 40N. C-atomer i TiCN-filmen har effekten af styrkelse af fast opløsning og styrkelse af kornforfining. Hårdheden af TiCN-filmen øges fra 20,3 til 33,4GPa af TiN-filmen. TiCN-film har gode antifriktionsegenskaber, og levetiden på TiCN-filmhaner ved anboring af 40Cr-materiale er væsentlig længere end TiN-filmhaner og ubelagte haner.
Vakuumforsølvning af lækagedetektionstrin
1. Tjek tegningerne. Forstå strukturen og materialeudstyret for de dele af udstyret, der skal inspiceres, og hele udstyret, udstyrets forarbejdningsniveau og teknologi og processen med at samle hele maskinen, det sted, hvor lækagen skal kontrolleres, brugerens brug krav, og standarden for distributionslækage og total lækage. , Om der er dead space, om der er lækagetilbøjelige materialer, om der anvendes en fremstillingsproces, der er udsat for lækage mv.
2. I henhold til den maksimalt tilladte lækagehastighedsstandard og de forskellige krav til, om det er nødvendigt at finde den specifikke placering af lækagen, kombineret med principperne om økonomi, hastighed og pålidelighed, skal du vælge lækagedetektionsanordning, metode og nødvendigt hjælpeudstyr , og Udvikle et program til registrering af vakuumlækager.
3. Rengør de dele af vakuumudstyret, der skal efterses. Fjern svejseslagge og fedt, og rengør derefter. Efter rengøring skal de dele af vakuumudstyret, der skal efterses, tørres. For små dele med høje krav bør de rengøres og bages.
4. Kalibrer lækagedetektionsfølsomheden for lækagedetektionsmetoden og lækagedetektionsudstyret, der bruges i vakuumbelægningsudstyret, og bestem responstiden for lækagedetektionsanordningen.
5. I tilfælde af vakuumlækagedetektionsmetoden er det for at forbedre lækagedetektionsfølsomheden for lækagedetektionsanordningen nødvendigt at pumpe de dele af udstyret, der skal testes, til en højere grad af vakuum, og når det er nødvendigt, bagning og afgasning kan udføres. behandle.
6. På grund af den høje pris på udstyr og heliumgas, der anvendes i heliummassespektrometri-lækagedetektionsmetoden, bør andre mere økonomiske lækagedetektionsmetoder eller -anordninger anvendes så meget som muligt.
7. I det tilfælde, hvor ioncoatingmaskinen anvender en helium massespektrometer lækagedetektor til lækagedetektion, kan nogle dele, der skal inspiceres, og som ikke kræver høj lækagedetektionsfølsomhed eller har store lækagehuller i udstyret, bruges i det tidlige stadie af lækagedetektion. Foreløbig lækagedetektion med helium for at spare brugen af helium.
8. Efter at have repareret de opdagede store smuthuller, skal du kontrollere de små smuthuller i udstyret.
9. Alle lækager opdaget af vakuumionbelægningsudstyr skal inspiceres igen.
www.superbheater.com
