Driftsprocedure for vakuumbelægningsmaskine

Driftsprocedure for vakuumbelægningsmaskine

 

① Kontroller, om hver driftskontrolkontakt på vakuumbelægningsmaskinen er i "off"-position.

 

② Tænd for hovedafbryderen, og udstyret er tændt.

 

③ Træk lavtryksventilen ud. Åbn oppustningsventilen, efter at lyden af ​​luftstrømmen ikke kan høres, start klokkeventilen, og klokken stiger.

 

④ Installer og fastgør wolframspiralvarmeren. Fastgør PVDF-folien og aluminiumsdækslet på den roterende skive. Træk aluminiumstråden ind i spiralvarmeren. Rengør alle dele af klokkeglasset for at sikre, at der ikke er urenheder.

 

⑤ Drop klokkeglasset.

 

⑥ Start den mekaniske vakuumpumpe.

Vakuum belægning maskine forstøvning belægning

 

Der findes mange typer sputtering belægninger. Generelt er forskellen fra fordampningsbelægninger, at sputteringshastigheden bliver en af ​​hovedparametrene.

 

For laserforstøvningsbelægningen pld i sputterbelægningen er sammensætningens ensartethed let at opretholde, men tykkelsesensartetheden på atomskalaen er relativt dårlig (fordi det er pulsforstøvning), og kontrollen af ​​krystalorienteringen (yderkant) vækst er også forholdsvis generel.

Krystallinsk ensartethed af vakuumbelægningsmaskine:

 

1. Gittermatch

 

2. substrattemperatur

 

3. Fordampningshastighed

Komponentensartethed af vakuumbelægningsmaskine:

 

Ensartetheden af ​​komponenterne i fordampningsbelægningen er ikke let at garantere, og de specifikke faktorer, der kan justeres, er de samme som ovenfor, men på grund af princippets begrænsning er ensartetheden af ​​komponenterne i fordampningsbelægningen ikke god til ikke-enkeltkomponent belægning.

Tykkelsens ensartethed af vakuumcoateren afhænger hovedsageligt af:

 

1. Graden af ​​gittertilpasning mellem substratmaterialet og målmaterialet

 

2. Underlagets overfladetemperatur

 

3. Fordampningskraft, hastighed

 

4. Vakuum grad

 

5. Belægningstid og tykkelse.

www.superbheater.com