Påvirkningsfaktorer for forgiftning af vakuumforsølvede mål

Påvirkningsfaktorer for forgiftning af vakuumforsølvede mål

Den vigtigste faktor, der påvirker målforgiftning, er forholdet mellem reaktiv gas og sputtergas. Overdreven reaktiv gas vil føre til målforgiftning. Under den reaktive katodeforstøvningsproces dækkes sputterkanalområdet på måloverfladen af ​​reaktionsproduktet, eller reaktionsproduktet pilles af for at blotlægge metaloverfladen igen og igen. Hvis hastigheden af ​​forbindelsesdannelsen er større end den hastighed, hvormed forbindelsen strippes, øges det areal, der dækkes af forbindelsen. I tilfælde af en vis effekt øges mængden af ​​reaktionsgas, der deltager i dannelsen af ​​forbindelsen, og forbindelsesdannelseshastigheden stiger. Hvis mængden af ​​reaktiv gas stiger for meget, øges det areal, der dækkes af forbindelsen. Hvis strømningshastigheden af ​​den reaktive gas ikke kan justeres i tide, kan stigningshastigheden i det areal, der er dækket af forbindelsen, ikke undertrykkes, og sputterkanalen vil blive yderligere dækket af forbindelsen. Når sputtermålet er fuldstændig dækket af forbindelsen Når målet er fuldstændigt forgiftet.

Dannelse af metalforbindelser på måloverfladen af ​​vakuumforsølvning

I processen med at danne forbindelsen fra metalmåloverfladen gennem den reaktive sputterproces, hvor dannes forbindelsen? Da de reaktive gaspartikler kolliderer med atomerne på måloverfladen for at generere kemisk reaktion for at generere sammensatte atomer, som normalt er en eksoterm reaktion, skal varmen, der genereres af reaktionen, have en måde at lede på, ellers kan den kemiske reaktion ikke fortsætte. Varmeoverførsel mellem gasser er umulig under vakuum, så kemiske reaktioner skal finde sted på en fast overflade. Reaktive sputterprodukter udføres på måloverflader, substratoverflader og andre strukturerede overflader. At generere forbindelser på underlagets overflade er vores mål. At generere forbindelser på andre overflader er spild af ressourcer. Generering af forbindelser på måloverfladen var oprindeligt en kilde til sammensatte atomer, men blev senere en hindring for kontinuerligt at levere flere sammensatte atomer.

www.superbheater.com