Ideel filmtykkelse til vakuumforsølvning
Læg en besked
Ideel filmtykkelse til vakuumforsølvning
Tykkelse refererer til afstanden mellem to perfekt flade parallelle planer, og dette koncept er et geometrisk koncept. Den ideelle filmtykkelse refererer til afstanden mellem substratoverfladen og filmoverfladen. I den tredimensionelle måling af filmtopografi, i forhold til filmens tykkelse, kan de andre todimensionelle målinger siges at være uendelige. Fordi den faktiske overflade er ujævn og diskontinuerlig, og der kan være porer, urenheder, gitterdefekter og overfladeadsorptionsmolekyler i filmen, skal hele filmens tykkelse defineres nøje og måles nøjagtigt. er meget svært. Definitionsbitten af filmtykkelsen skal bestemmes i henhold til metoden til adressemåling og formålet med adressemålingen. Derfor vil den samme film, ved brug af forskellige målemetoder, få forskellige resultater, det vil sige forskellige tykkelser.
Vakuumforsølv reaktiv sputtering belægning
Den første er at bruge sammensatte belægningsmål. Under sputtering nedbrydes målforbindelsen på grund af effekten af ionbombardement. For eksempel, efter brug af ren argon som sputtergas, vil det støkiometriske forhold mellem den nyproducerede film blive forvrænget. For at kompensere for tabet af kendte komponenter kan en vis mængde reaktiv gas tilsættes argon for at danne forbindelser, for at sikre, at sammensætningen af filmlaget forbliver uændret.
Den anden er at bruge rent metal, legering eller blanding som belægningsmål i en blandet forstøvningsatmosfære bestående af inert gas og reaktiv gas gennem sputtering og kemisk reaktion for at opnå den sammensatte film.
Den største forskel mellem de to former er aflejringshastigheden og reaktionsgastrykket. De reaktive gasser, der kan bruges til reaktiv sputtering er: luft, oxygen eller vanddamp (til at generere oxidfilm), nitrogen eller NH3, (til at generere nitridfilm), oxygen plus nitrogen (til at generere oxynitridfilm), H2S (til at generere oxynitridfilm), sulfidfilm) ), As (genererer arsenfilm) osv. Nogle af disse gasser skal være opmærksomme på sikkerhedsproblemer under brug.
På nuværende tidspunkt er diameteren af det cylindriske magnetronforstøvningsmål nået 2,5 meter, og længden af det plane magnetronforstøvningsmål er nået 6,5 meter. Fremkomsten af store magnetronforstøvningsmål med høj effekt har åbnet en bred vej for applikationer i højvolumen industriel produktion.
www.superbheater.com
