Afslutning og lukning af enkeltkrystalovnen:
Læg en besked
Afslutning og lukning af enkeltkrystalovnen:
Når enkeltkrystallen trækkes til halen, startes enden. Når diameteren af enkeltkrystallen når Φ10-80mm, trækkes smeltezonen fra hinanden. På dette tidspunkt fortsætter den nedre aksel med at bevæge sig nedad, og den øvre aksel ændres til at bevæge sig opad, mens effekten forbliver på 40±10%, hvorved krystallen langsomt afkøles. En Czochralski enkelt krystal vækstenhed tilhører det tekniske område af halvleder vækst udstyr. Den inkluderer et hydraulisk servosystem til at justere digelstangen; i varmestyringsenheden er en trefaset balancetransformator, filterkondensator, reaktor og modstand kombineret og forbundet parallelt med den harmoniske kilde; den har også en gaspåfyldningsanordning med variabel frekvens. Den foreliggende opfindelse overvinder manglende evne hos den eksisterende digelakselløfte-drivanordning til effektivt at sikre stabiliteten af produktionskontrol og utilstrækkelig nøjagtighed, overvinder den eksisterende varmekontrolenheds manglende evne til at eliminere harmoniske og overvinder også den eksisterende digelakselløftedrivanordning. kan ikke effektivt garantere stabiliteten af produktionskontrollen, og nøjagtigheden er utilstrækkelig.
Enkelt krystal ovn dreje, holde og klemme frigørelse:
Når diameteren af den udvidede skulder er forskellig fra den ene krystalholderdiameter med 3-20 mm, skal hastigheden for at udvide skulderen sænkes, og skulderen skal roteres, indtil den påkrævede diameter er nået. Enkeltkrystallen bibeholdes. Isodiameteret holdes på 75 mm-220mm, og den enkelte krystal vokser. Hastigheden er 1 mm/min-5 mm/min. Under skulderudvidelsesprocessen, når afstanden mellem stifterne på enkeltkrystalholderen på skulderen af enkeltkrystallen er mindre end 2 mm, frigøres holderen, og enkeltkrystallen fastspændes;
Skulderudvidelse af enkeltkrystalovn og nitrogenfyldning:
Efter væksten af nakken udvides skuldrene, reduceres langsomt den nedre hastighed til 3±2mm/min, samtidig med at diameteren af de udvidede skuldre øges, fortsættes med at falde og skrues ned til 8±4rpm, og langsomt reduceres og skru op til 1± 0.5rpm; For at forhindre højtryksionisering fyldes en vis andel nitrogen i en argonbeskyttende atmosfære, og blandingsforholdet af nitrogen er 0,01 % til 5 % af argon;
www.superbheater.com
