Forklaring af temperaturkalibreringsteknologi til højtemperaturudglødningsovntermometer

Det rapporteres, at højtemperaturudglødningsovnen anvender et lukket sløjfe-kontrolsystem, der består af en accelereret digital PLD-temperaturregulator, termoelement, pyrometer og varmekilde for at kontrollere temperaturen korrekt. Ved kollaborativ kontrol af halogenlamper i forskellige områder kan temperaturforskellen i hver region kompenseres under temperaturstyringsprocessen, så temperaturen i forskellige områder på underlaget holdes uændret. På grund af sin installation i bunden af ​​hulrummet kan pyrometeret kun modtage stråling fra bagsiden af ​​substratet og kan ikke modtage stråling fra lampen. Derfor kan et pyrometer nøjagtigt måle temperaturen på underlaget. Temperaturkalibreringsprincippet for dette pyrometer er som følger:
1. Introduktion til Pyrometer:
Det pyrometer, der introduceres i denne artikel, er et optisk pyrometer for termisk stråling. Når pyrometeret modtager infrarød stråling fra det målte objekt, filtreres det optiske signal, fotoelektrisk konverteres og forstærkes til et analogt signal, som derefter transmitteres til sensorens signalinterfacekredsløbsmodul. Dette modul udfører A/D-konvertering på signalet og konverterer det til et digitalt signal, der kan genkendes af computeren. Det digitale signal, der føres tilbage til computeren, omtales som pyrometerfeedbackværdien i den følgende tekst.
2. Temperaturkalibreringstabel:
Ifølge relevante love er temperaturen af ​​et objekt relateret til dets stråling og spektrale emissivitet. For højtemperaturudglødningsovne afhænger mængden af ​​stråling, der modtages af pyrometeret, hovedsageligt af faktorer som substratmateriale, doping, naturligt oxidlag på overfladen og substrattemperatur. For den samme type substrat (dvs. substrater med samme materiale, doping og overflade naturligt oxidlag), er mængden af ​​stråling modtaget af pyrometeret relateret til substrattemperaturen. For den samme type substrat svarer pyrometerets feedbackværdi en-til-en til substrattemperaturen. Denne overensstemmelse udgør temperaturkalibreringsdata, og en temperaturkalibreringstabel bruges til at lagre forholdsdata mellem flere substrattemperaturer og feedbackværdier fra et pyrometer. Forskellige temperaturer svarer til forskellige feedbackværdier for pyrometeret. Højtemperatur-udglødningsovnens computer kan beregne den faktiske temperatur af substratet baseret på signalværdifeedbacken fra pyrometeret og temperaturkalibreringstabellen.