Justeringsplade til vakuumbelægningsmaskine

Justeringsplade til vakuumbelægningsmaskine

Ifølge teorien om filmtykkelsesfordeling kan ensartetheden af ​​filmtykkelsen mellem substrater forbedres ved at tilføje justeringsplader i fordampningskammeret for at forbedre udbyttet og opfylde kravene til masseproduktion.

I designprocessen af ​​justeringspladen ignoreres vinkelfejlen for materialefordampning, og filmtykkelsen T er kun relateret til fordampningsvinklen θ. Ved at tilføje justeringsplader kan forskellen i filmfordeling forårsaget af forskellige fordampningsvinkler ændres. Færdiggørelsen af ​​justeringspladen korrigeres og afsluttes af faktiske produktionsdata.

Fejlfinding af vakuumbelægningsmaskine

Når vakuumbelægningsudstyret fungerer normalt, er omskifterrøret i hovedafbryderkredsløbet i en mættet ledningstilstand, rørets spændingsfald holdes på ca. 100V, nettet får en positiv forspænding på 50V, og højspændingen angiver 6kV (eller 10kV). Spændingskontrolsignalet opnået fra detektionskredsløbet R21 er ikke nok til at få D13 spændingsregulatorrøret til at bryde ned og lede, BG14, BG15, BG16 er i slukket tilstand, mens BG11, BG12, BG13 er i tændt tilstand og BG11 udsender et 2,5V eller deromkring højt potentiale. BG10 på gatespændingskoblingskredsløbet får spændingsstyresignalet på 2,5V og er i ledende tilstand, således at basispotentialet på BG9 bliver 0 potentiale og slukkes, og hovedafbryderrøret får en fremadgående biasspænding på 50V gennem D6 og D7. Samtidig er BG7 og BG8 også i ledende tilstand, og D8 spændingsregulatorrøret bryder ned og leder, hvilket giver en konstant strøm til hovedafbryderrørets gate. Fordi BG10 er i en ledende tilstand, er bunden af ​​BG4 af gardingitterets styrekredsløb på 0 potentiale og slukket, og størrelsen af ​​gardingitterets spænding styres af højspændingsdelersignalet UR2. Når UR2

www.superbheater.com